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BROOKS INSTRUMENT 输送模块VDM300
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产品: 浏览次数:3BROOKS INSTRUMENT 输送模块VDM300 
品牌: BROOKS INSTRUMENT
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最后更新: 2024-09-27 14:57
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详细信息
  Brooks Instrument去离子水蒸汽输送模块VDM300
Brooks Instrument 的蒸汽输送模块 (VDM) 是用于高精度输送超高纯度去离子水蒸汽的高性能、自足式模块。它的特点是节能设计,能在低温环境下产生超高纯蒸汽。该模块采用了成熟的蒸汽输送技术,并结合了 进的数字控制和集成诊断功能,集成在 个小巧,方便的外壳中。
 
VDM 专为 进的剥离和金属刻蚀后段钝化工艺设计。相比闪蒸系统,它能提高精度,使流速更快,控制范围更广,功耗更小。基于成熟的热式质量流量测量技术,VDM 能在非过热蒸汽阶段产生蒸气,从而降低去离子水的侵蚀效果,提高了可靠性,改良了清洁操作。
 
它还通过 个独立的服务端口和直观的图形用户界面,提供人性化的数据记录和诊断功能。
 
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